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유해가스 및 분진 차단용 자성유체
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자성유체 sealing에 사용되는 자성유체 제품입니다.
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자성유체와 자석에 의해 O-ring을 만들어 sealing 작용을 하는 비접촉 seal입니다.
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마찰없이 설비의 내구성을 향상시키며 극 고진공 상태에서 유해가스 및 분진을 차단합니다.
적용영역
Ion Implant System , CVD, 유기 EL, Sputter, 이온주입기, X선 발생장치, 웨이퍼 반송용, LCD 반송용, Plasma Etching Systems, 광 가속장치, HID Lamp, Automobile HID Lamp Manufacturing Process, CD RW